MappIR / MAP300 半導体ウエハー用自動分析装置

mappirPIKE 社は、半導体ウェハーの分析のために完全にオートメーション化したアクセサリーを用意しております。
MappIR 及びと MAP300 アクセサリーは、、2 から 12 インチ(50~300mm)のサイズのウェハーの EPI、BPSG、Oxygen、Carbon の分析を行うことができます。MappIRとMAP300は、シリコンウェハーの研究と品質管理にリーズナブルな価格の、オートメーション化したツールとして半導体産業でご使用頂く為に開発されました。
MappIR は、8 インチ(200mm)およびそれより小さな半導体ウェハーの分析用に開発されました。MAP300 はより大きなサイズのウェハーを測定するためのバージョンで、12 インチ(300mm)のウェハーを測定することができます。操作部、電子機器部およびソフトウェアは、一体化したシステムとして準備しています。
MappIR と MAP300 アクセサリーは、FTIR 分光計の試料室に取り付けることが出来ます。半導体ウェハーはばね式デルリンのクリップにより固定され、アクセサリーの金属部に対して接触しない構造になっており、真空ピンセットなどで取り扱いも出来ます。


 

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